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本文介绍了一种利用激光自准原理通过对被测表面斜率积分的方法测量非球面面形的方法,并设计了测量系统,对系统的误差及实验数据进行了处理和分析。
超光滑光学非球面面形检测
【摘 要】
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本文介绍了一种利用激光自准原理通过对被测表面斜率积分的方法测量非球面面形的方法,并设计了测量系统,对系统的误差及实验数据进行了处理和分析。
【出 处】
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光学机械
【发表日期】
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1991年2期
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