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期刊论文
金属表面氧化层电子状态的测量
金属表面氧化层电子状态的测量
来源 :半导体技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:echoofstar
【摘 要】
:
借助电流、电压及磁场等宏观可测量与电子能量、波矢量及晶格长度等微观量的关系,采用透过电子电流谱TCS的实验,就钛金属电极上的氧化层的结构与电子状态作了解析性的探讨.结
【作 者】
:
潘李宜基
【机 构】
:
南开大学信息技术学院
【出 处】
:
半导体技术
【发表日期】
:
2003年3期
【关键词】
:
电极
TCS
表面测量
钛氧化物
电子状态
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借助电流、电压及磁场等宏观可测量与电子能量、波矢量及晶格长度等微观量的关系,采用透过电子电流谱TCS的实验,就钛金属电极上的氧化层的结构与电子状态作了解析性的探讨.结果说明,表面结构是以二氧化钛TiO2为主的多晶,并得到了其形象的带结构图.
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