一种用于制备纳米SiC/Si_3N_4复合粉体的CVD新工艺的热力学分析(英文)

来源 :中国粉体技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：jingcheng0417

【摘要】

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综述了SiC/Si3 N4 复合粉体的力学性能和制备方法 ,提出了一种制备纳米级SiC/Si3 N4 复合粉体的新方法 ,并通过热力学分析提出了合成条件 The mechanical properties and pr

【作者】

：

全学军 ShoichiKimura

【机构】

：

四川大学(西区)粉体研究所!四川成都610065,俄勒冈州立大学!美国

【出处】

：

中国粉体技术

【发表日期】

：

2000年06期

【关键词】

：

CVD SiC/Si_3N_4 碳化硅(SiC) 氮化硅(Si3N4) 复合粉体纳米热力学分析化学气相沉积氮化硅力学性能

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综述了SiC/Si3 N4 复合粉体的力学性能和制备方法 ,提出了一种制备纳米级SiC/Si3 N4 复合粉体的新方法 ,并通过热力学分析提出了合成条件 The mechanical properties and preparation methods of SiC / Si3 N4 composite powders were reviewed. A new method for preparing nano-sized SiC / Si3 N4 composite powders was proposed. The synthesis conditions

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