本文给出了一种直接测量双层复合钝化膜厚度的方法.由于不是在制膜过程中采用陪片的间接测量,因此简化了手续,也减少了误差.这种直接测量双层薄膜的方法,不需要高级复杂的设备,仍然只使用椭偏仪,因此可适用于一般的生产及科研工作.它与单层介质膜的椭偏法相比,这种方法需要改变一次入射角,所得公式也与单层情况显然不同.文中讨论了这种测量方法的物理原理,所得公式在一级近似条件下可以将公式直接推广,以适用于更多层的透明介质膜,为了提高测试的精确性,我们又进一步对一级近似作了修正.根据修正后的公式,我们用电子计算机取得了一套数据.凡折射率在1.2—2.2范围内的双层膜都可使用,操作也较为方便.这套数据中,当入射角为70°双层介质的折射率相等时,所得（φ,△）—（n,δ）关系与单层膜所得结果完全符合.这不仅理论上验证了公式,也核对了电子计算机的处理过程.另外,我们又直接测量了硅衬底上的Al₂O₃—SiO₂—Si结构的双层复合膜,分别确定的Al₂O₃,SiO₂的折射率和厚度,与用陪片间接测试结果一致.进一步检验了公式与数据的正确性.