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考虑到以往厚膜传感器压敏元件和补偿电路的一致性较差、稳定性不够理想的问题,设计了一种优化的厚膜压力传感器片内平面化结构,其可提高传感器温度补偿效果;分析了信号调理电路的合理布局,元件的科学分布对减小误差,提高抗干扰能力的有效性,并给出了实验数据,通过其证明了设想的正确性.
厚膜压力传感器的温度补偿与调理方法研究
【摘 要】
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考虑到以往厚膜传感器压敏元件和补偿电路的一致性较差、稳定性不够理想的问题,设计了一种优化的厚膜压力传感器片内平面化结构,其可提高传感器温度补偿效果;分析了信号调理
【机 构】
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中国科学院合肥智能机械研究所在读硕士研究生,中国科学院合肥智能机械研究所研究员
【出 处】
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传感器世界
【发表日期】
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2005年10期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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