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一种化学镀液组成包括琥珀酸、碳酸钾、钴离子源、还原剂和水。可选择的缓冲剂也包含在组分中。该镀液可用于在含有孔道、沟道的半导体金属基体表面沉积钴。
化学镀液成分及使用方法
【摘 要】
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一种化学镀液组成包括琥珀酸、碳酸钾、钴离子源、还原剂和水。可选择的缓冲剂也包含在组分中。该镀液可用于在含有孔道、沟道的半导体金属基体表面沉积钴。
【出 处】
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电镀与环保
【发表日期】
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2010年5期
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