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用四极质谱计对光电阴极碱源材料放气成份进行质谱分析,给出了分析结果,并对所放出有害气体给制备光电阴极带来的影响进行了讨论.
二代微光成像器件阴极材料放气成份分析
【摘 要】
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用四极质谱计对光电阴极碱源材料放气成份进行质谱分析,给出了分析结果,并对所放出有害气体给制备光电阴极带来的影响进行了讨论.
【机 构】
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西安应用光学研究所
【出 处】
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真空科学与技术
【发表日期】
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2003年3期
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