Microstructure and mechanical properties of TiN/AlN multilayers deposited by filtered vacuum arc dep

来源 :中国有色金属学报（英文版） | 被引量 : 0次 | 上传用户：thangna9806

【作者】

：

ZHANGXu，ZHANGHui-xing，ZHANGTon

【出处】

：

中国有色金属学报（英文版）

【发表日期】

：

2004年z1期

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