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主要介绍在MEMS器件中PZT薄膜制备的方法、制备过程中需要解决的问题、PZT薄膜与MEMS的集成以及PZT在MEMS中的应用的研究进展,并展望了PZT薄膜的应用前景.
PZT薄膜在MEMS器件中的研究进展
【摘 要】
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主要介绍在MEMS器件中PZT薄膜制备的方法、制备过程中需要解决的问题、PZT薄膜与MEMS的集成以及PZT在MEMS中的应用的研究进展,并展望了PZT薄膜的应用前景.
【机 构】
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黑龙江大学电子工程学院,哈尔滨工程大学材料科学与工程系
【出 处】
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材料工程
【发表日期】
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2004年6期
【基金项目】
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黑龙江省科技计划
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