准分子激光加工表面轮廓的分形插值模拟及d值的影响

来源 :南昌大学学报(工科版) | 被引量 : 0次 | 上传用户：gaoyeye

【摘要】

：

准分子激光加工的表面的分形特征的研究未见有报道,本文首先分析了准分子激光加工表面可以具有分形特征,说明可以用分形理论来对它进行分形分析.进而利用IFS理论模拟了某准分

【作者】

：

陈志新刘莹

【机构】

：

南昌大学机电工程学院

【出处】

：

南昌大学学报(工科版)

【发表日期】

：

2002年4期

【关键词】

：

表面轮廓模拟 IFS 分形插值准分子激光加工迭代函数系统 IFS fractal interpolation simulation excimer las

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准分子激光加工的表面的分形特征的研究未见有报道,本文首先分析了准分子激光加工表面可以具有分形特征,说明可以用分形理论来对它进行分形分析.进而利用IFS理论模拟了某准分子激光加工表面轮廓,并给出了模拟的算法流程图,结果表明:在适当的d值下,模拟结果与实测轮廓很接近.最后探讨了不同的d值对模拟结果的重大影响及d值的确定.

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