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六氟化硫（SF6）作为一种理想的绝缘和灭弧气体广泛应用于气体绝缘电力设备。以往的研究和运行经验表明SF 6气体分解物与电力设备的绝缘状态有密切的关联。因此，分析SF 6气体分解物是监测气体绝缘电力设备绝缘状态的有效手段之一。本文用针-板电极模型模拟SF 6气体中的工频交流电晕放电，以色谱-质谱法作为检测手段，研究不同影响因素下工频交流电晕放电中SF 6气体分解组分的形成规律，如持续施加电压、放电时间、气体压力、电极间距等，分析影响因素对SF 6气体分解物形成的作用规律。