【摘 要】
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离子束混合(IM)形成铝硅化物的过程中,相的生成及相结构的转变与注入及后退火过程中外界给系统所提供的激活能有关。衬底加温IM时,钼硅化物的生长厚度与注入剂量的平方根成正
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离子束混合(IM)形成铝硅化物的过程中,相的生成及相结构的转变与注入及后退火过程中外界给系统所提供的激活能有关。衬底加温IM时,钼硅化物的生长厚度与注入剂量的平方根成正比(x∝(?)~(1/2));理论分析表明,其生长规律与注入过程的能量淀积密度Δ_v有关,当Δ_v很大时x∝(?)~(1/2),当Δ_v较小时x∝(?)。而且,扩入Mo膜中的氧杂质会明显降低铝硅化物的生长速率。
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