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提出衍射光谱的一种新应用,通过直接测量宽频带光源在远场一空间位置处的衍射光谱,获得孔径阵列平面的结构信息,这种方法能适用于任何一种不同标准和尺寸的孔径阵列平面结构的测量.
基于衍射光谱的孔径平面结构测量研究
【摘 要】
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提出衍射光谱的一种新应用,通过直接测量宽频带光源在远场一空间位置处的衍射光谱,获得孔径阵列平面的结构信息,这种方法能适用于任何一种不同标准和尺寸的孔径阵列平面结构
【机 构】
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四川理工学院机械工程学院 四川省自贡市汇兴路学苑街180号,643000
【出 处】
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光谱实验室
【发表日期】
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2011年1期
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