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利用组合刻蚀法布里珀罗(F-P)干涉滤光片的谐振腔间隔层的方法,制备了集成在一个基片上的8通道中波红外(λ0=2.8 μm)窄带滤光片,通道线宽为0.7 mm,光谱通道定位精度优于1%,各通道相对半峰宽为1%.此法有效提高了成品率,并可满足实现通道数更多,集成度更高的滤光器件发展的需求.
中波红外8通道微型集成滤光片的研制
【摘 要】
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利用组合刻蚀法布里珀罗(F-P)干涉滤光片的谐振腔间隔层的方法,制备了集成在一个基片上的8通道中波红外(λ0=2.8 μm)窄带滤光片,通道线宽为0.7 mm,光谱通道定位精度优于1%,
【机 构】
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中国科学院上海技术物理研究所第八研究室
【出 处】
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光子学报
【发表日期】
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2005年9期
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