【摘 要】
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利用四对靶溅射的方法制备了Mo/Al光学多层膜,通过X射线小角度掠射法（LAXD）、断面高分辨透射电镜（HREM）以及透射电镜（TEM）等分析手段,研究了该薄膜在在制备态及不同的退火温度下微
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利用四对靶溅射的方法制备了Mo/Al光学多层膜,通过X射线小角度掠射法（LAXD）、断面高分辨透射电镜（HREM）以及透射电镜（TEM）等分析手段,研究了该薄膜在在制备态及不同的退火温度下微结构及其热稳定性.结果表明：在制备态下,Mo和Al都为多晶结构,界面的混合层厚度与生长顺序有关系,不对称.随着退火温度的升高,多层膜呈现出周期延展,伴随峰增加.550℃以下,周期延展和出现了6级布拉格峰分别归结于晶粒的长大和退火增强了层间相关程度;550℃时,出现了Al-Mo非晶合金,有意思的是此时多层膜的界面粗糙度并
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