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分子束外延δ掺杂研究
分子束外延δ掺杂研究
来源 :半导体情报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:keremslr
【摘 要】
:
用分子束外延生长了δ掺杂结构,并用电化学C-V和汞探针C-V测量了载流子的分布特性,其半峰宽约85(?)。δ掺杂用于AlGaAs/GaAs调制掺杂异质结,在77K具有较好的输运特性。
【作 者】
:
张允强
彭正夫
【机 构】
:
南京电子器件所南京210016
【出 处】
:
半导体情报
【发表日期】
:
1991年6期
【关键词】
:
分子带外延
异质结
掺杂
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用分子束外延生长了δ掺杂结构,并用电化学C-V和汞探针C-V测量了载流子的分布特性,其半峰宽约85(?)。δ掺杂用于AlGaAs/GaAs调制掺杂异质结,在77K具有较好的输运特性。
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