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VLSI/ASIC进入亚微米深亚微米后出现的问题及解决的办法
VLSI/ASIC进入亚微米深亚微米后出现的问题及解决的办法
来源 :黄冈职业技术学院学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:soiney
【摘 要】
:
这些年超大规模集成电路得到了飞速的发展,与此同时,随着器件特征尺寸的减小,尤其是进入深亚微米后出现了一系列新的问题.本文主要阐述了超大规模集成电路进入深亚微米后在设
【作 者】
:
吴金秀
倪祥明
【机 构】
:
黄冈职业技术学院
【出 处】
:
黄冈职业技术学院学报
【发表日期】
:
2002年3期
【关键词】
:
超大规模集成电路
深亚微米
特征尺寸
VLSI Deep secondary micrometer Critical dimension
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这些年超大规模集成电路得到了飞速的发展,与此同时,随着器件特征尺寸的减小,尤其是进入深亚微米后出现了一系列新的问题.本文主要阐述了超大规模集成电路进入深亚微米后在设计方法和工艺上出现的问题,以及解决的方法.
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