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由于激光诱导击穿光谱（LIBS）实验数据容易受各种实验条件的影响，所以采集的光谱数据相对标准偏差较大，导致后续的定量分析精度不高。本文采用激光诱导击穿光谱，以高合金钢样品中Si，Cr，Mn，Fe4种元素的特征谱线为对象，系统的研究了各种可能引起光谱数据波动的因素，如激光能量及频率、收集位置、焦深等对光谱实验数据波动性的影响。实验发现，激光能量的稳定、合适的聚焦深度等都是提高灵敏度，降低光谱数据相对标准偏差（RSD）的有效手段，而改变信号采集位置及角度则影响不大。