声表面波气体传感器器件的设计

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论述了声表面波气体传感器器件的结构设计及设计参数的选择,设计了ST和AT不同切向的石英晶体材料做压电基片材料的3种振荡器,通过电性能参数的测试,比较了3种振荡器的性能优劣.
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