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期刊论文
声表面波气体传感器器件的设计
声表面波气体传感器器件的设计
来源 :舰船科学技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yusaihua
【摘 要】
:
论述了声表面波气体传感器器件的结构设计及设计参数的选择,设计了ST和AT不同切向的石英晶体材料做压电基片材料的3种振荡器,通过电性能参数的测试,比较了3种振荡器的性能优劣.
【作 者】
:
付曙霞
杨震夏
【机 构】
:
中国船舶重工集团公司第七一八研究所
【出 处】
:
舰船科学技术
【发表日期】
:
2006年2期
【关键词】
:
声表面波
气体传感器
振荡器
surface acoustice wave chemical gas sensoroscillator
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论述了声表面波气体传感器器件的结构设计及设计参数的选择,设计了ST和AT不同切向的石英晶体材料做压电基片材料的3种振荡器,通过电性能参数的测试,比较了3种振荡器的性能优劣.
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