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本文介绍了国外对宇航用射频MEMS开关的研究，包括其性能、结构、技术成熟度、生产制造、可靠性及环境应力。
国外对宇航用射频MEMS开关的研究
【摘 要】
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本文介绍了国外对宇航用射频MEMS开关的研究，包括其性能、结构、技术成熟度、生产制造、可靠性及环境应力。
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十研究所,北京市科通电子继电器总厂
【出 处】
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机电元件
【发表日期】
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2009年2期
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