【摘 要】
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随着微型机电系统（MEMS）的快速发展，MEMS摩擦学已成为纳米摩擦学研究中最活跃的前沿领域之一。微观尺寸上的摩擦磨损和润滑对整个MEMS系统的性能，稳定性和寿命起着决定作用。因此
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随着微型机电系统（MEMS）的快速发展，MEMS摩擦学已成为纳米摩擦学研究中最活跃的前沿领域之一。微观尺寸上的摩擦磨损和润滑对整个MEMS系统的性能，稳定性和寿命起着决定作用。因此研究MEMS的微观摩擦学性能至关重要，综述了近年来国内外MEMS摩擦学研究的新进展。介绍了MEMS系统的纳米摩擦学特性，包括环境条件，材料处理，表面改性，分子薄膜润滑等在解决MEMS摩擦和润滑问题上的研究状况，提出了当前相关研究的几个重要问题。
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