论文部分内容阅读
介绍了 193 nm光刻中的散射条技术,并利用标量衍射和傅里叶光学理论,对掩模和光瞳平面上衍射图形的空间频率进行了深入的分析,从理论上解释了散射条的工作原理.通过商用光刻模拟软件PROLITH,对散射条的参数进行了优化,并总结出193 nm光刻中孤立线散射条的优化方法.
193nm光刻散射条技术研究
【摘 要】
：
介绍了 193 nm光刻中的散射条技术,并利用标量衍射和傅里叶光学理论,对掩模和光瞳平面上衍射图形的空间频率进行了深入的分析,从理论上解释了散射条的工作原理.通过商用光刻
【机 构】
：
中国科学院
【出 处】
：
微电子学
【发表日期】
：
2005年4期
其他文献
孟德斯鸠的三权分立思想曾对西方国家的政治体制有着非常重要的作用。在国家政治体制中,三权应当分别掌管于不同的机构及人员,这样才能够为国家内公民的各项政治权利提供有效
《北京档案史料》2017年第1辑共收入史料5组，均为新公布史料，另有文章3篇。其中新公布的5组档案史料是： 1915年北京师范学校首届毕业生参观上海、苏州、无锡、南通四地学校报告书/孙刚选编 内容提要：1915年，北京师范学校第一届学生毕业，校方组织部分学生赴江苏各地参观学习。从4月中旬到5月中旬，历时一月，毕业生一行十人参观了上海、苏州、无锡、南通四地的中小学校、师范、幼稚园、博物院、养老院
在大兴区北普陀影视城北侧路西，有一座晾鹰台，又叫做练兵台。我国古代封建帝王为了观赏风景，常在皇家园林内设置一些平顶、高耸的建筑物，这就是“臺”，今作“台”。汉代许慎在《五
本文以 “服装档案是档案信息资源” 为命题,梳理了中外与服装档案有关的术语, 讨论了服装档案的概念界定及独特性, 分析比较了服装档案的载体, 探讨了服装档案的收集和利用