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由于声电荷转移(ACT)这一新颖的高速缓冲抽样技术的发明,使得新一代高速高频信号处理器件的实现成为可能。本文研究了第二代平面结构的ACT器件转移沟道的电位分布特性,给出了平面结构ACT延迟线的设计,并研究了ACT器件的工艺实现。
砷化镓声电荷转移延迟线的设计与工艺研究
【摘 要】
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由于声电荷转移(ACT)这一新颖的高速缓冲抽样技术的发明,使得新一代高速高频信号处理器件的实现成为可能。本文研究了第二代平面结构的ACT器件转移沟道的电位分布特性,给出了
【机 构】
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杭州六和塔浙江大学分部,浙江大学电子物理技术研究所,浙江大学电子物理技术研究所
【出 处】
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压电与声光
【发表日期】
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1992年6期
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