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自1987年贝尔实验室首次用脉冲准分子激光制备出高温超导薄膜以来，脉冲激光淀积技术已得到了蓬勃发展，现在已成为最好的薄膜制备技术之一．本文简要介绍了准分子激光的原理、 PLD的原理以及用准分子激光脉冲淀积氧化物薄膜的工艺及其所表现的诸多优势．
准分子激光淀积氧化物薄膜
【摘 要】
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自1987年贝尔实验室首次用脉冲准分子激光制备出高温超导薄膜以来，脉冲激光淀积技术已得到了蓬勃发展，现在已成为最好的薄膜制备技术之一．本文简要介绍了准分子激光的原理、 PLD
【机 构】
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昆明理工大学材料与冶金工程学院,昆明理工大学材料与冶金工程学院
【出 处】
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昆明理工大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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2001年1期
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