【摘 要】
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为了克服环境湿度变化对微移液管探针结构读写稳定性的不利影响,本文首先设计了一种混合室和工作室的双气室结构,在工作室的内置隔板上均匀分布小孔形成均匀的微气流,确保工作室内湿度均匀并减小对工作点气流扰动的影响.然后,通过数值模拟验证了设置混合室和工作室双气室结构的合理性,且以小于0.06 m·s-1流速对工作室进行双侧充气时,对工作点的气流扰动小于50μm·s-1.制作实物并实验表明,该系统能够在5分钟内将工作室的湿度控制在给定值(环境温度25℃),且相对湿度的稳态误差为2.59％;通过控制环境湿度,对比不同
【机 构】
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西安交通大学机械工程学院,陕西西安710049;西南科技大学制造学院,制造过程测试技术教育部重点实验室,四川绵阳621010;西安交通大学机械工程学院,陕西西安710049;西南科技大学制造学院,制造
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为了克服环境湿度变化对微移液管探针结构读写稳定性的不利影响,本文首先设计了一种混合室和工作室的双气室结构,在工作室的内置隔板上均匀分布小孔形成均匀的微气流,确保工作室内湿度均匀并减小对工作点气流扰动的影响.然后,通过数值模拟验证了设置混合室和工作室双气室结构的合理性,且以小于0.06 m·s-1流速对工作室进行双侧充气时,对工作点的气流扰动小于50μm·s-1.制作实物并实验表明,该系统能够在5分钟内将工作室的湿度控制在给定值(环境温度25℃),且相对湿度的稳态误差为2.59％;通过控制环境湿度,对比不同湿度条件下微移液管探针电沉积(写)结构质量和扫描(读)成像质量,发现该环境湿度控制方法能够满足微移液探针微纳读写的工作要求.该方法对提高基于移液管探针微结构制造和检测的稳定性和可靠性具有重要的现实意义.
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针对高精度柔性扫描平台以现有速度曲线模型运动时运算量、残余振动大以及稳态时间长等问题,基于时间最优原则建立了最优阶多项式速度曲线,降低高精度柔性扫描平台运动时的残余振动与稳态时间.建立高精度柔性扫描平台简化模型,以速度、加速度、加加速度及其一阶导数等限制条件为边界,对不同阶数多项式速度曲线进行残余振动仿真分析,由仿真结果确定多项式速度曲线最优阶,随后构建最优阶多项式速度曲线方程并以高精度柔性扫描平台为对象进行残余振动实验.最优阶多项式速度曲线与传统梯形速度曲线相比,高精度柔性扫描平台实际残余振动加速度峰值
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