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随着波导材料的研究和进展,作者采用新的波导材料设计出了一种波导式压力传感器,该文章就光波导压力传感器的原理和特性作了一个简要阐述,对它的工艺流程作了详细的描述.
采用体硅制造法的光波导压力传感器的一种初步设计
【摘 要】
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随着波导材料的研究和进展,作者采用新的波导材料设计出了一种波导式压力传感器,该文章就光波导压力传感器的原理和特性作了一个简要阐述,对它的工艺流程作了详细的描述.
【出 处】
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厦门广播电视大学学报
【发表日期】
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2004年1期
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