【摘 要】
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针对上海光源（SSRF）软X射线谱学显微光束线站高分辨变包含角单色器（VAPGM）在超高真空环境下对波长扫描机构转角精度的现场测试,提出了一种实用、有效的检测方法。采用自制的多角
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室,中国科学院研究生院
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针对上海光源（SSRF）软X射线谱学显微光束线站高分辨变包含角单色器（VAPGM）在超高真空环境下对波长扫描机构转角精度的现场测试,提出了一种实用、有效的检测方法。采用自制的多角棱镜,结合高精度光电自准直仪进行现场测试。首先,介绍了单色器波长扫描原理,给出角度与波长的关系;接着,理论分析了转角精度与系统分辨率之间的关系;最后,介绍了该方法的检测原理、装置及检测步骤。利用该方法完成了VAPGM平面镜（PM）和平面光栅（PG）转角精度的检测,结果分别为0.19″,0.22″,满足单色器技术指标要求。在电离室在
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