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对用于分子束外延（MBE）中的反射式高能电子衍射仪（RHEED）的工作原理以及RHEED衍射强度振荡在测量外延生长速率的应用进行了详尽的阐述；针对样品盘与RHEED系统的兼容问题，对样品盘进行了新的设计，并进行了实验研究。
用于MBE中的反射式高能电子衍射仪
【摘 要】
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对用于分子束外延（MBE）中的反射式高能电子衍射仪（RHEED）的工作原理以及RHEED衍射强度振荡在测量外延生长速率的应用进行了详尽的阐述；针对样品盘与RHEED系统的兼容问题，对样品盘进
【机 构】
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贵州大学贵州省微纳电子与软件技术重点实验室
【出 处】
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现代机械
【发表日期】
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2009年1期
【基金项目】
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贵州省委组织部高层人才科研特助项目（ZD73011）,贵州省科技厅基金（Z073085）,贵州大学博士基金（X060031）,贵州大学研究生创新基金资助项目（校研理工2007020）.
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