基于变焦技术的三维微纳表面形貌测量算法研究

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利用变焦原理,通过控制步进电机的运动,不断改变成像CCD与被测物体的z向间距,拍摄获取一维、二维图像序列。通过比较分析各种聚焦评价和搜索算法,采用抗噪性和处理速度较好的Tenengrad聚焦评价函数和高斯曲线拟合搜索方法,通过空间域的像素融合得到被测物体的全景深图像。实验结果表明,采用上述算法能够较好地重现被测物体的三维结构,纵向分辨率能够满足测量精度要求。
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