直接隧穿应力下超薄栅氧化层中的多缺陷产生行为

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wadfgh1234
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基于一阶速率方程,讨论了恒定电压应力下应力电流的饱和行为,通过对应力电流的拟合,发现存在三类缺陷产生的前身,更进一步的实验显示,在缺陷产生时间常数、击穿时间以及应力电压之间存在着明确的关系,这意味着缺陷产生时间能够被用于有效预测氧化层的寿命,与常规的氧化层击穿实验相比,基于缺陷产生时间常数的预测更快、更有效。
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