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由于结构和材料等因素影响,塑封器件中存在一些潜在的缺陷。声学扫描显微镜检查是一种无损检测技术,能有效识别和剔除有潜在缺陷的器件,降低使用风险。该文研究了国内外主要的3类声学扫描显微镜检查标准,重点研究了国内最常用的GJB 4027A-2006和正在编制的GB/T 4937.35-XXXX,指出了其中存在的问题。