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将CCD和计算机图像处理技术融入到等厚干涉仪测量系统中,实现测量过程自动化,数据处理微机化,降低劳动强度,提高测量效率和测量准确定.
等厚干涉数字处理系统平晶测量不确定度分析
【摘 要】
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将CCD和计算机图像处理技术融入到等厚干涉仪测量系统中,实现测量过程自动化,数据处理微机化,降低劳动强度,提高测量效率和测量准确定.
【机 构】
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天津市计量监督检测科学研究院
【出 处】
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计量与测试技术
【发表日期】
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2013年10期
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