【摘 要】
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采用波长为355nm的高重复频率、纳秒脉冲全固态紫外激光器作为光源,对材料进行精确螺旋状钻孔。激光加工光束偏离小孔中心由偏置双光楔产生,并由高速电机带动旋转,使得小孔边
【机 构】
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上海市激光技术研究所,上海市激光束精细加工重点实验室,
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采用波长为355nm的高重复频率、纳秒脉冲全固态紫外激光器作为光源,对材料进行精确螺旋状钻孔。激光加工光束偏离小孔中心由偏置双光楔产生,并由高速电机带动旋转,使得小孔边缘的热效应降到最低;小孔的中心位置由高精度二维工作台位移决定,可以应用于列阵孔的激光加工中。
Using a high repetition rate of 355nm, a nanosecond-pulsed all-solid-state UV laser is used as the light source to accurately drill the material. Laser processing beam deviation from the hole center by the bi-optical wedge generated by the high-speed motor-driven rotation, the edge of the hole to minimize the thermal effects; hole center position by the high-precision two-dimensional table displacement can be applied to Array hole laser processing.
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