【摘 要】
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针对超高速旋转划片刀实际工作时存在的切削噪声问题,用INV 3018G型振动与控制分析仪器对其切削晶圆的划片刀结构进行实验分析,利用改变划片刀工艺凹槽角度α的数值,得出不同
【机 构】
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苏州大学机电工程学院,库力索法半导体苏州有限公司
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针对超高速旋转划片刀实际工作时存在的切削噪声问题,用INV 3018G型振动与控制分析仪器对其切削晶圆的划片刀结构进行实验分析,利用改变划片刀工艺凹槽角度α的数值,得出不同角度对应转速的频谱图,并应用统计数据图表的方法,整理分析得到角度和频谱峰值的变化曲线图,确定工艺凹槽角度α对其结构的影响,得出对应的峰值最小即产生的噪声较小.结果表明：不同工艺凹槽角度α对高速旋转划片刀结构的设计有一定意义.
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