激光辐照对LCMO薄膜结构和电输运特性的影响

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利用脉冲激光溅射沉积技术,在SrTiO3(001)单晶衬底上外延生长了La0.67Ca0.33MnO3(LCMO)薄膜。采用CO2激光对制备的薄膜辐照10~60s。利用X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)和电阻-温度测试系统对激光辐照前后的薄膜进行了对比分析。结果显示,CO2激光辐照增强了LCMO薄膜的结晶性,使薄膜呈现出类似“平原”的表面结构并降低了表面粗糙度。与传统的高温退火类似,经CO2激光辐照后,样品的电阻率从1.3mΩ·cm下降到0.5mΩ·cm,绝缘态-金属转变温度
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