小型化电容式压力传感器及变换器

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介绍了一种新型结构的电容式压力敏感元件及其信号变换器,给出了敏感元件与变换器联合测试结果,并对变换器的工作原理作了较详尽的分析。非线性误差大是电容式压力传感器的主要误差,通过在变换电路上采用一种方法可以很好地解决这一问题。此方法具有非线性纠正能力强、调试方便的特点。该电路特点是精度高、分辨率高、动态响应快、低功耗。整机表现出很高的时间稳定性。 A new type of capacitive pressure sensitive element and its signal converter are introduced. The joint test result of the sensitive element and the converter is given, and the working principle of the converter is analyzed in detail. Large non-linear error is the main capacitive pressure sensor error, through the conversion circuit using a method that can be a good solution to this problem. This method has the characteristics of non-linear correction, debugging convenience. The circuit is characterized by high accuracy, high resolution, fast dynamic response, low power consumption. The whole machine shows a high degree of time stability.
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