微波等离子体对基托材料表面结构的作用

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目的:观察微波等离子体对基托材料表面结构改变,为复合基托材料研制提供直接依据.方法:采用正交试验方法对80个试件分为16组,气体流量13.7cm3/min;在输出功率:100W、150W、200W、250W;气体种类:氧气、空气、氩气、氧气和氩气混合;气体压强:0.4、0.6、0.8、1kPa;处理时间:1、2、5、8 min,在不同的工作参数条件下等离子体对各组试样处理,扫描电镜观察表面结构.结果:镜下观察可见未经等离子体处理的样品表面较为平滑,有纵形条纹,而经等离子体处理后样品表面条纹呈现沟状,出现较多的缝隙,同时形成微小的凹槽,呈现少许剥脱状,表面粗糙度增加.结论:等离子体在基托材料表面发生刻蚀作用,使其表面变得粗糙不平,可以改善高分子树脂材料与硅橡胶二者之间的粘接固位问题.
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