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考察了在溶胶-凝胶（Sol-Gel）工艺中化学添加剂对钛酸锶钡（BST）溶胶的粒度分布的影响。通过对化学添加剂的优选，制备出具有优异电性能的BST薄膜。X-射线衍射（XRD）表明在Pt／Cr／SiO2／Si衬底上制备的BST薄膜具有完整的钙钛矿结构，AFM表面形貌显示BST薄膜表面致密、平整、无裂纹，平均晶粒尺寸约50nm。漏电流测试表明BST薄膜在0～9V的外加偏压下始终保持着较低的漏电流，在外加偏压为8．8V时，漏电流密度为2．9×10^-6A／cm^2。