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通过对TiN／SiC、TiN／TiB2和TiN／SiO2纳米多层膜微结构和力学性能的研究，展示了通常溅射沉积态为非晶的SiC、TiB2和SiO2薄膜，在立方结构的TiN晶体层模板作用下的晶化现象，以及多层膜由此产生的生长结构和力学性能的变化．结果表明：SiC在层厚≤0．6nm时晶化为立方结构后，可以反过来促进TiN／SiC多层膜中TiN层的晶体完整性；TiB2在层厚≤2．9nm时晶化为六方结构，并与TiN形成{111}TiN／／{0001}TiB2，〈100〉TiN//〈112^-0〉TiB2的共格关系；