【摘 要】
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对基于条纹反射的镜面物体三维形貌测量进行了研究，测量并分析了镜面手机外壳不同横向空间分辨率的三维形貌。由计算机控制液晶显示屏生成正弦条纹图像，用CCD相机记录由待测镜
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对基于条纹反射的镜面物体三维形貌测量进行了研究，测量并分析了镜面手机外壳不同横向空间分辨率的三维形貌。由计算机控制液晶显示屏生成正弦条纹图像，用CCD相机记录由待测镜面物体反射的变形条纹图像并进行相位解调。相位分布受物体表面梯度调制，对相位数据进一步求导和积分可以分别得到表面曲率和高度分布。通过带通滤波分析，可以分解得到样品不同横向空间尺度的三维形貌，为加工工艺改进提供定量依据。对镜面手机外壳的测量结果表明，本文方法具有很高的灵敏度和很大的动态范围，高度方向分辨率可达亚μm量级。在普通实验条件下，能够同时
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