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本文介绍了一种用于研究材料塑性和弹性性能的超显微压痕系统。薄膜的硬度和杨氏模量由测试过程中记录下来的所谓加载－卸载曲线推导计算而出。这种系统不仅可以精确探测到极小载荷引起的形变，而且能区分由塑性引起的形变和由弹性引起的形变，从而使得获得的硬度值更准确。
硬质薄膜的超显微硬度表征
【摘 要】
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本文介绍了一种用于研究材料塑性和弹性性能的超显微压痕系统。薄膜的硬度和杨氏模量由测试过程中记录下来的所谓加载－卸载曲线推导计算而出。这种系统不仅可以精确探测到极小
【出 处】
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功能材料与器件学报
【发表日期】
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1995年1X期
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