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隧穿氧化层钝化接触技术中,多晶硅层掺杂浓度对钝化效果有直接影响,本技术利用离子注入实现不同浓度的掺杂,分析了不同掺杂浓度的钝化效果,结果发现在掺杂浓度为6＊1015cm-3时,经过950℃退火,可以达到最优的钝化效果,ivoc可以达到715mv。
多晶硅层掺杂浓度对钝化接触效果的影响
【摘 要】
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隧穿氧化层钝化接触技术中,多晶硅层掺杂浓度对钝化效果有直接影响,本技术利用离子注入实现不同浓度的掺杂,分析了不同掺杂浓度的钝化效果,结果发现在掺杂浓度为6＊1015cm-3时,
【机 构】
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国家电投集团西安太阳能电力有限公司
【出 处】
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中国科技信息
【发表日期】
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2018年23期
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