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金刚石膜压力传感器的优化设计(Ⅱ)
金刚石膜压力传感器的优化设计(Ⅱ)
来源 :光电子·激光 | 被引量 : 0次 | 上传用户:sansancaicai
【摘 要】
:
探讨了一种新型金刚石膜压力传感器的优化设计方法,采用了计算机辅助设计,用数值计算中的有限元理论和ANSYS程序,模拟传感器承载金刚石膜的应力场分布,确定了掺硼金刚石压敏
【作 者】
:
杨保和
孙伟
孙以才
李燕
常明
【机 构】
:
河北工业大学,天津理工学院
【出 处】
:
光电子·激光
【发表日期】
:
2003年7期
【关键词】
:
金刚石膜片
压力传感器
压敏电阻
承载膜
应变分布
圆角电阻
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探讨了一种新型金刚石膜压力传感器的优化设计方法,采用了计算机辅助设计,用数值计算中的有限元理论和ANSYS程序,模拟传感器承载金刚石膜的应力场分布,确定了掺硼金刚石压敏电阻条的尺寸、最佳位置和排列方式.结果证明,按该设计研制的金刚石膜压力传感器输出信号达到了较高灵敏度和较好的稳定性.
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