【摘 要】
：
热丝化学气相沉积是制备金刚石厚膜的传统方法,但是所得到的金刚石厚膜成品率低,限制了其作为刀具和散热片的应用。本文针对此方法进行设备改造,采用复合技术-射频等离子体辅
论文部分内容阅读
热丝化学气相沉积是制备金刚石厚膜的传统方法,但是所得到的金刚石厚膜成品率低,限制了其作为刀具和散热片的应用。本文针对此方法进行设备改造,采用复合技术-射频等离子体辅助热丝化学气相沉积(RF-HFCVD)提高金刚石厚膜的沉积速率和质量。同时,对金刚石厚膜的应用及展望进行了简要综述。
Hot filament chemical vapor deposition is a traditional method of making diamond thick films, but the resulting low yield diamond thick film limits its use as a tool and heat sink. In this paper, we retrofitted the equipment to improve the deposition rate and quality of diamond thick film by using RF-HFCVD. At the same time, the application and prospect of diamond thick film are briefly reviewed.
其他文献
斯威士兰的海洛克石棉矿于1929年开始兴建。现年产35,000吨,约占世界年产量的0.5%。每月采出矿石70,000至75,000吨,得到3,000吨石棉纤维。地质条件海洛克的温石棉矿体位于剪
1996年以来,以黑龙江省为策源地,由北向南在全国刮起了声势夺人的“高秆菠菜之风”。 国内数十家报刊杂志纷纷宣传报道。一家大报称:“高秆菠菜能在寸草不生的盐碱地上生长,
这是一篇好文章，很值得一读。作者吴东林是湖北省老河口日报的副总编辑，对艺术的执著追求和对新闻的真心热爱，使他将艺术与新闻有机地结合起来。正是这一结合，使他在新闻工作的广
随着我国在用汽车保有量的日益增加，汽车排放对大气的污染及对人们的健康的危害日益严重，因此，在用机动车的排放污染的监测已成为汽车类检测的一个重要方面。
我举起照相机、摄像机的镜头,就如举起了可以包含万物的神镜,记录着周围的事物,记录着信合发展的精彩。方寸镜头中,我紧紧扼住时间和空间的咽喉,不断地变换着角度,心中快速运
烧结矿震动筛筛板是较难铸造的合金钢铸件。以前,一直靠外国进口的,洋人也就利用这一点,从政治上、经济上卡我们的脖子。在无产阶级文化大革命和批林批孔运动中,广大铸钢工
我司现有电机车所用的电源,长期以来均使用传统的电动机发电机组。这种变流装置的主要缺点是:机组效率低,电压调整率大,经常出现毛病,加重维修人员的负担。为了提高系统的安
《加拿大矿冶通报》1974年5月报道加拿大艾克斯塔尔矿的地下矿山,从1973年1月开始建立了多锚栓、钻孔伸长计观测点,对坑内岩石移动进行观测。其目的是观测采场矿柱和顶柱受
《富贵白头》是一幅喜闻乐见的小写意寓意画。朵大如盘的牡丹花在绿叶的映衬下熠熠生辉,太湖石上一对白头翁顾盼有致,右上的俏枝姿态潇洒,一派祥和美好的景象。此帧右侧的花
早在1999年就有人提出传媒产业将是中国最后一个暴利产业。但在“互联网投资热”的去年和前年,传媒产业似乎未被众多资本“相中”,而当网络泡沫破灭之后,传媒产业得以“重见