【摘 要】
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基于波导光栅共振原理和古斯-汉欣（Goos-Hnchen）位移理论,提出一种表面覆膜波导光栅传感结构,并研究其共振光谱特性。通过在光栅表面涂覆低折射率聚合物功能膜层优化其共振光
【机 构】
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燕山大学电气工程学院,燕山大学信息科学与工程学院,河北先河环保科技股份有限公司
【基金项目】
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国家自然科学基金项目（61201112,61475133）, 河北省自然科学基金项目（F2016203188,F2016203245）, 河北省普通高校学校青年拔尖人才计划项目（BJ2014056）资助
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基于波导光栅共振原理和古斯-汉欣（Goos-Hnchen）位移理论,提出一种表面覆膜波导光栅传感结构,并研究其共振光谱特性。通过在光栅表面涂覆低折射率聚合物功能膜层优化其共振光谱特性,选用多孔硅作为待测物承载单元,可以使光学探针更充分地接触待测样本,从而提高其检测性能。根据波导光栅共振相位条件,建立了共振波长和样本折射率之间的数学模型,通过检测共振位置的改变进而对样本浓度进行检测。研究表明,该表面覆膜波导光栅传感结构具有线型对称和窄线宽的共振光谱特性,可实现高品质因数（Q值）和高灵敏度的传感特性,其Q值
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