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本文介绍了利用ＫＯＨ腐蚀液对硅台阶，台面等三维结构进行无掩膜腐的新技术，应用该技术可以制作出仅用常规各向异性腐蚀所无法形成的微机械结构，从而使腐蚀工艺的灵活性大为增加。
KOH溶液无掩膜腐蚀加工硅对称梁技术研究
【摘 要】
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本文介绍了利用ＫＯＨ腐蚀液对硅台阶，台面等三维结构进行无掩膜腐的新技术，应用该技术可以制作出仅用常规各向异性腐蚀所无法形成的微机械结构，从而使腐蚀工艺的灵活性大为增加。
【机 构】
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复旦大学电子工程系传感器研究室
【出 处】
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半导体学报
【发表日期】
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1996年6期
【基金项目】
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国家八五科技攻关,国家自然科学基金
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