【摘 要】
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自西门子公司在20世纪50年代发明了采用提纯的三氯氢硅（SiHCl3）在氢气（H2）气氛下在加热的硅芯表面反应沉积多晶硅的方法——西门子法，此后各国都在十分保密的情况下发展各自的多晶
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自西门子公司在20世纪50年代发明了采用提纯的三氯氢硅（SiHCl3）在氢气（H2）气氛下在加热的硅芯表面反应沉积多晶硅的方法——西门子法，此后各国都在十分保密的情况下发展各自的多晶硅工艺，我国多晶硅生产自2006年开始增长迅猛。原料硅粉的纯度已达到99．3％，为去除其中0．7％的杂质，不仅要有洁净生产的理念，而且要有元素平衡的理念。
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