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设计和制作了一种基于MEMS技术的硅基集成PCR(聚合酶链式反应)微芯片,采用有限容积法,边界条件考虑自然对流换热和辐射换热,对PCR微芯片的传热过程进行了数值模拟.主要分析了样品的升、降温速度和样品内部的温度均一性.分析结果表明芯片具有较高的升、降温速度,而且样品内部的温度均一性也满足PCR反应的要求.芯片在温度控制系统下进行了热循环反应,实现了GUS基因的扩增,获得了良好的实验结果.