【摘 要】
：
在传统工业型热丝化学气相沉积(HFCVD)反应腔内,相关工艺参数取模拟计算优化值的条件下,采用XRD,SEM及Raman光谱等分析手段研究了单晶Si (100)上较大面积金刚石薄膜的动力学
论文部分内容阅读
在传统工业型热丝化学气相沉积(HFCVD)反应腔内,相关工艺参数取模拟计算优化值的条件下,采用XRD,SEM及Raman光谱等分析手段研究了单晶Si (100)上较大面积金刚石薄膜的动力学生长行为,讨论了晶格取向的变化规律.结果表明:优化工艺参数条件下,在模拟计算的衬底温度和气体温度分布均匀的区域内,沉积的金刚石薄膜虽存在一定的内应力,但整体薄膜连续、均匀,几何晶形良好,质量较高,生长速率达1.8 μm/h.薄膜生长过程中晶形显露面受衬底温度和活性生长基团浓度的影响较大.
其他文献
利用特制的电弧放电装置，研究了水或液氮中碳电弧放电形成炭纳米材料的机理。借助高分辨率透射电子显微镜对电弧放电生成的产物进行了观察和分析。结果表明：在水或液氮中碳电弧
【目的】建立针对猪圆环病毒2型和猪圆环病毒3型的一种双重PCR检测方法。【方法】先优化猪圆环病毒2型和猪圆环病毒3型的单独PCR检测方法条件,在此基础上优化这2种猪圆环病毒
自改革开放以来,我国工业产业化的发展速度也在不断加快,因而当前工业厂房建设数量也在逐渐增加。而当前参与到工业厂房建设施工的建筑企业数量也在不断增多。本文主要针对当
建筑施工管理是保证建筑工程质量的重要手段。在实现工程功能性、美观性的同时,也对建筑施工管理水平提出了更高的要求。本文针对危机管理意识,分析其在建筑施工管理中的应用
采用乙二醇还原法制备了以炭气凝胶（CA）为载体的PtRu纳米颗粒催化剂。透射电镜（TEM）观察得知：PtRu的粒径为3nm左右，且在载体CA表面均匀分散。循环伏安和恒电位测试表明：催化剂的甲醇