【摘 要】
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LiB3O5(LBO)非线性光学晶体软、脆的特点增加了超精密加工的难度。采用固结磨料抛光技术对LBO晶体(110)面进行抛光,研究酸性、中性和碱性抛光液pH值调节剂及pH值对晶体抛光材
【机 构】
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南京航空航天大学机电学院; 江苏省精密与微细制造技术重点实验室; 中国科学院功能晶体与激光技术重点实验室,中国科学院理化技术研究所;
【基金项目】
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国家自然科学基金项目(50905086,51175260);中央高校基本科研业务费专项资金(NP2012506);江苏省高校优势学科建设工程资助
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LiB3O5(LBO)非线性光学晶体软、脆的特点增加了超精密加工的难度。采用固结磨料抛光技术对LBO晶体(110)面进行抛光,研究酸性、中性和碱性抛光液pH值调节剂及pH值对晶体抛光材料去除率、表面形貌和表面粗糙度的影响。结果表明:酸性抛光液对LBO晶体表面的腐蚀作用太大,中性抛光液的腐蚀作用太小,不适合抛光LBO晶体;乙二胺配制pH值为11的无磨料碱性抛光液固结磨料抛光LBO晶体(110)面,获得高的晶体表面质量,表面粗糙度Sa为1.94nm,表面损伤小。
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